技术编号：7012814
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，具体说是一种CIGS太阳能电池吸收层的生产设备，其包括输送吸收层衬底至腔体内的输送带，四对上、下隔板将腔体分隔成预热段、硒化段和冷却段，硒化段连接有硒蒸气产生装置，硒蒸气产生装置通过喷射装置向移动的衬底喷射硒蒸气，在硒化段两端的上隔板或下隔板上分别开具有惰性气体进气孔和排气孔，不仅可保证硒化反应前，排出硒化段内的空气；而且硒化反应顺利进行。本方案通过预热段、硒化段和冷却段对衬底进行连续处理，不仅保证了吸收层的生...
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