薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置制造方法技术资料下载

技术编号:7013333

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本发明涉及显示,公开了一种TFT阵列基板及其制备方法、以及包括该TFT阵列基板的显示装置,本发明的栅极形成在第一绝缘层的栅极凹槽内,使得栅极被第一绝缘层所包围,图形化的栅极不存在坡度,第一绝缘层将栅极与外界隔离,可防止栅绝缘层的断层,进而有效阻挡薄膜晶体管阵列基板中的铜扩散。进一步地,金属阻挡层完全覆盖复合铜金属或包含铜金属的复合薄膜层的上表面和/下表面,能够起到很好的阻挡铜扩散的作用,同时更重要的是不需要对铜进行刻蚀,降低了成本、提高了良品率。专利说明薄...
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