技术编号:7013333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示,公开了一种TFT阵列基板及其制备方法、以及包括该TFT阵列基板的显示装置,本发明的栅极形成在第一绝缘层的栅极凹槽内,使得栅极被第一绝缘层所包围,图形化的栅极不存在坡度,第一绝缘层将栅极与外界隔离,可防止栅绝缘层的断层,进而有效阻挡薄膜晶体管阵列基板中的铜扩散。进一步地,金属阻挡层完全覆盖复合铜金属或包含铜金属的复合薄膜层的上表面和/下表面,能够起到很好的阻挡铜扩散的作用,同时更重要的是不需要对铜进行刻蚀,降低了成本、提高了良品率。专利说明薄...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。