技术编号:7013807
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种晶圆片识别旋转定位吸附台,解决了现有的倒角设备中的晶圆片的旋转吸附定位台存在的结构复杂和使用不简便的问题。包括在吸附台台板(1)上设置有轴通过孔,在吸附台台板上的轴通过孔下方的吸附台台板的下底面上固定设置有带座轴承(2)和轴(3),伺服电机(5)的输出轴通过联轴器(6)与轴(3)的下端连接,轴的上端是依次从动密封座(7)和真空导入盒(8)穿过的,在轴的上端部的轴心处设置有轴中真空气路(16),在轴的顶端设置有晶圆片吸附托盘(10),晶圆片吸...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。