技术编号:7014679
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,包括采用CMOS工艺在SOI基片上制作光栅及波导器件结构、覆盖层及第一金属电极层;在过渡块上制作第二金属电极层和凹槽,将激光器贴装在过渡块平台预定位置;将过渡块放置在光栅结构上方;利用互连金线将激光器电极与第一、二金属电极层连接;将准直透镜放在过渡块凹槽,经调节后通过填充固化胶固化、密封在凹槽上,之后在凹槽上放置反射镜,调节反射镜,保证激光器通电发出的光经准直透镜、反射镜及光栅区域后使波导器件结构获得最大输出光,将反射镜与过渡块凹槽间、过渡块与SOI...
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