技术编号:7015089
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供。该所使用的成膜装置包括旋转台;第1处理区域;第2处理区域;以及分离区域。该包括以下工序第1工序在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第2气体供给部供给氧化气体的状态下,使旋转台旋转至少一周;第2工序在自第1气体供给部供给含有规定的元素的反应气体、自第2气体供给部供给氧化气体、自分离气体供给部供给分离气体的状态下,使旋转台旋转规定周数,从而在基板上形成含有规定的元素的氧化膜;第3工序在自第1气体供给部和分离气体供给部供给分离气体、自第...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。