技术编号:7015139
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅基片厚金属刻蚀的前处理工艺,其特征是,采用以下工艺步骤(1)在硅基片表面溅射生长4μm厚的金属层;(2)在金属层表面涂光刻胶,曝光、显影得到光刻图形;(3)将硅基片放入等离子体设备中,通入氧气,氧气流量为700~900sccm,控制等离子体处理工艺保证光刻胶的去胶量为100~150nm,等离子体处理功率为100~300W,温度为240~260℃,处理时间为20~40秒。步骤(1)所述金属层为Al/Si或Al/Si/Cu,生长温度为250~3...
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