技术编号:7015187
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板及显示装置,属于薄膜晶体管制造,其可解决现有的氧化物薄膜晶体管由于源、漏极材料中的金属原子与氧化物半导体有源层中的氧离子结合导致氧化物薄膜晶体管的稳定性差的问题。本发明的氧化物薄膜晶体管,其包括基底,依次形成在基底上的栅极、栅极绝缘层、氧化物半导体有源层,以及源、漏极,还包括设于氧化物半导体有源层与源、漏极之间的过渡层,所述过渡层包括金属层和保护层两层结构,其中,所述保护层与所述氧化物半导体有源层接触,所...
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