技术编号:7016179
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例提供了一种薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示面板,属于液晶显示领域,以提高多晶硅内载流子的迁移率。所述薄膜晶体管的制备方法,包括M1在基板上沉积诱导层;M2通过刻蚀工艺,在所述诱导层中刻蚀出凹部,所述凹部边缘具有规定的形状;M3在所述具有规定形状的凹部中沉积非晶硅层,通过晶化方法诱导非晶硅层形成多晶硅层,所述多晶硅层中的多晶硅晶粒在所述凹部边缘的限定下、垂直于凹部边缘方向排布,所述多晶硅层和所述诱导层共同形成半导体层;M4在所述半导体层上依...
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