技术编号:7016180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种阵列基板及其制备方法、显示装置,属于显示装置制造,本发明的阵列基板的制备方法,包括在基底上通过构图工艺形成包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的有源区的图形;在完成上述步骤的基底上形成栅极绝缘层;在完成上述步骤的基底上,通过构图工艺形成包括第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管栅极的图形;在完成上述步骤的基底上形成隔离层;在完成上述步骤的基底上,形成用于第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管的源漏极与其各自有源区电连接的第二接触过孔,以及用于第一薄膜晶体管的栅...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。