技术编号:7016413
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示器件,该薄膜晶体管包括有源层、刻蚀阻挡层、源电极和漏电极,有源层包括至少一个第一有源部分以及位于第一有源部分两侧且与第一有源部分连接的第二有源部分和第三有源部分;至少一个第一有源部分被刻蚀阻挡层覆盖,且其纵向宽度小于第二有源部分和/或第三有源部分;第二有源部分和第三有源部分被第一有源部分上的刻蚀阻挡层的横向延伸部部分覆盖,其中,当第一有源部分的纵向宽度小于第二有源部分时,第二有源部分与源电极形成边翼接触,当第一有源...
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