技术编号:7016531
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。。提供了一种化学机械抛光组合物,所述化学机械抛光组合物基本上由作为初始组分的下述物质组成水;0.01-0.5wt%的唑抑制剂;0.01-0.5wt%的络合剂;0-1.0wt%的卤化铵;0.01—1wt%的含磷试剂,其中,含磷试剂为磷酸;0.05-1.0wt%的水溶助剂;0-5.0wt%的氧化剂;0.005-1.0wt%的聚乙烯基烷基醚;0-0.01wt%的杀生物剂,其中,杀生物剂为噻唑啉衍生物;以及,pH调节剂;其中,化学机械抛光组合物设计的抛光pH为8-...
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