技术编号:7016557
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种肖特基势垒二极管及制造肖特基势垒二极管的方法。该二极管包括设置在n+型碳化硅衬底的第一表面上的n-型外延层;和设置在上述n-型外延层内的多个p+区域。n+型外延层设置在上述n-型外延层上,肖特基电极设置在上述n+型外延层上,欧姆电极设置在上述n+型碳化硅衬底的第二表面上。上述n+型外延层包括设置在上述n-型外延层上的多个柱形部和设置在上述柱形部之间且露出上述p+区域的多个开口。每个柱形部包括接触上述n-型外延层的大致直线部、和从上述大致直线部...
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