一种正装结构的发光二极管外延片的制作方法技术资料下载

技术编号:7017262

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本实用新型公开了一种正装结构的发光二极管外延片,属于半导体。外延片包括衬底、以及依次层叠在衬底上的Al层、AlN成核层、未掺杂的GaN层、n型层、多量子阱层和p型层,外延片还包括设于n型层内的反射层,反射层为分布式布拉格结构,分布式布拉格结构的每一周期包括AlxInyGa1-x-yN层和层叠在AlxInyGa1-x-yN层上的AlaInbGa1-a-bN层,AlxInyGa1-x-yN层和AlxInyGa1-x-yN层均掺杂有Si,且AlxInyGa1-x...
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