技术编号:7018883
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种升针机构和升举装置,涉及半导体制造,使升针的固定更加牢固。该升针机构包括导杆;升针固定套筒,所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接;所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部;所述挡翼固定部包括升针通道,所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸;所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽,所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点,所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。