升针机构和升举装置制造方法技术资料下载

技术编号:7018883

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本实用新型公开了一种升针机构和升举装置,涉及半导体制造,使升针的固定更加牢固。该升针机构包括导杆;升针固定套筒,所述升针固定套筒的底部与所述导杆的顶部固定连接;所述导杆的顶端与所述升针固定套筒的顶端之间设置有挡翼固定部;所述挡翼固定部包括升针通道,所述升针通道从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸;所述升针通道的侧面设置有挡翼沟槽,所述挡翼沟槽从所述升针固定套筒的顶端向底端方向延伸至第一拐点,所述挡翼沟槽在所述第一拐点处弯折并沿所述升针固定套筒的横截面方向...
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