技术编号：7018902
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种硅片生产中用于取片的机械手，包括机械臂、吸盘及二者的控制器，机械臂端部设置吸盘，控制器能够改变机械臂的位置并控制吸盘工作，还包括温度传感器，温度传感器设置在机械手上，并将检测的温度信号传递给控制器。硅片经过高温工艺冷却一段时间后，使用该机械手进行取片，取片时，温度传感器检测硅片的温度，并将其传递给控制器；控制器根据硅片的温度判断适不适合进行取片，经过判断，机械手进行取片操作的硅片，其温度均适宜取片，取片过程不容易造成碎片，并且吸盘也不会...
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