技术编号:7019375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明系关于,更详言的,系关于具备能与物体一起沿与水平面平行的既定二维平面内的既定范围的移动体的移动体装置、具备该移动体装置的曝光装置、使用该曝光装置的元件制造方法、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法、以及在从下方支承前述物体的物体支承装置上交换物体的物体交换方法。背景技术以往,在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的微影制程中,系使用一边使掩膜或标线片(以下总称为「掩膜」)与玻璃板或晶圆等物体(以下总称为「基板」)沿既定扫...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。