技术编号:7019796
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种芯片定位模板,包括一与晶圆尺寸一致的透明板,所述透明板上镂空设置若干坐标孔,所述坐标孔在所述透明板上的位置与所述芯片在所述晶圆上的位置一一对应,各个坐标孔显示的数字与各个芯片在晶圆上的坐标值一一对应。通过将透明板和晶圆对准重叠在一起,根据需要用油性笔经对应的坐标孔在所需要选择的芯片上做标记,从而可以快速、准确的选取所要分析的失效芯片样品,不但简单方便,可以有效节约时间,而且准确率高,不容易出错。专利说明芯片定位模板[0001]本实用新型...
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