技术编号:7019905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种具有双层钝化膜的AlGaN基紫外探测器,器件结构为在蓝宝石衬底上依次为AlN缓冲层、n型AlGaN层、i型AlGaN层、p型AlGaN层、下层Si3N4钝化膜、上层Si3N4钝化膜,n欧姆接触电极位于n型AlGaN层上,p欧姆接触电极位于p型AlGaN层上。本实用新型的优点在于AlGaN基紫外探测器中钝化膜应力低、致密度高、耐腐蚀。专利说明—种具有双层钝化膜的AIGaN基紫外探测器[0001]本专利涉及一种AlGaN基紫外探测器,具体指一...
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