技术编号：7020353
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型揭示了一种晶圆上片防撞机台，包括用于放置晶圆输送盒的升降台，在所述升降台上设置有机台侧板，在所述机台侧板上开设有与所述晶圆输送盒宽度相当的定位凹槽，在所述定位凹槽的上端还设置有防撞片。通过加装定位凹槽等定位装置，有效防止晶圆输送盒在升降过程中移位，从而避免撞击周边机构及其内部晶圆，减少设备或晶圆损坏，保证生产效率；通过加装防撞片，避免晶圆输送盒上升超过范围时撞击定位槽上端位置，同样避免了晶圆被损坏。专利说明—种晶圆上片防撞机台[0001]本实用新...
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