技术编号:7020500
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造在单晶硅基板上具有异质结的结晶硅系光电转换装置的方法。背景技术具备结晶硅基板的结晶硅系光电转换装置的光电转换效率高而通常作为太阳光发电系统广泛地付诸实用。其中,在单晶硅基板的表面上具有具备与单晶硅不同的带隙的导电型非晶硅系层的结晶硅系光电转换装置被称为异质结太阳能电池。在异质结太阳能电池中,在导电型非晶硅系层与结晶硅基板之间具有本征的非晶硅系层的异质结太阳能电池作为转换效率最高的结晶硅系光电转换装置的形式之一而已知。通过在结晶硅基板与导电型非...
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