一种功率半导体芯片电极结构的制作方法技术资料下载

技术编号:7020557

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本实用新型公开了一种功率半导体芯片电极结构,包括电极片,所述电极片包括电极片本体和电流输出端;所述电极片本体上设置有一组去应力槽。所述去应力槽设置在电极片本体两对边上,且两对边上的去应力槽错位排列。本实用新型解决了普通金属与硅片膨胀系数差别大,用来做电极片容易造成硅片热膨胀拉裂的问题,且结构简单,加工方便;还可以根据输出电流的大小进行调整电极片的结构。可广泛应用于功率半导体芯片领域。专利说明一种功率半导体芯片电极结构[0001]本实用新型涉及一种功率半导体...
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