技术编号：7023309
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种半导体加工设备上的楔形结构精密定位升降台，包括L型底座，在所述L型底座的水平板内侧安装两条平行的水平直线导轨，在所述L型底座的竖直板内侧安装两条平行的竖直直线导轨，在所述水平直线导轨上方通过滑块设置一个楔形块，在所述楔形块的斜面上设置一倒楔形工作台，所述倒楔形工作台的竖直面与所述竖直直线导轨接触。采用本实用新型技术方案独创的楔形结构，定位升降台小巧紧凑、可实现高精度上下方向定位，且具有较大的上下方向行程。专利说明一种半导体加工设备上的楔形结...
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