技术编号:7023837
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种水膜生成装置,它由水箱、PLC、直流电源、中间继电器、时间继电器、传感器、供水管、电磁阀、滴水管、滴水管箱组成;水箱通过供水管与滴水管连接,电磁阀设在供水管中,滴水管设在滴水管箱下部,传感器设在滴水管箱侧壁,PLC分别与传感器、直流电源、中间继电器电连接,中间继电器与时间继电器电连接,时间继电器与电磁阀电连接。它的效果在于能在硅片正面表面生成一均匀的拱状水膜,该拱状水膜有很好的张力,可以阻止酸液对硅片边缘的侵蚀,防止刻蚀边的产生,提高硅片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。