技术编号:7024399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的涉及电力电子的半导体器件,具体为全自对准型绝缘栅双极晶体管,包括有第一导电类型衬底,第一导电类型衬底的正面设置有第二导电类型基区,所述第二导电类型基区正面设置有第二导电类型重掺区,所述第一导电类型衬底、第二导电类型基区和第二导电类型重掺区均呈“凹”形,在所述第二导电类型基区内设有第一导电类型发射区,本实用新型采用了侧墙及其保护结构,保护结构的设立能保证侧墙不受损伤,保存完整的形貌,具有更加稳定的工艺生产特性和电学特性表现。专利说明全自对准型绝缘...
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