技术编号:7024401
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的涉及电力电子的半导体器件,具体为一种带有场截止层的全自对准的绝缘栅双极晶体管器件,包括第一导电类型衬底,第一导电类型衬底的第一主面内设有第二导电类型基区,第二导电类型基区内设有第二导电类型深扩散区,所述第二导电类型深扩散区呈“凹”形,第二导电类型基区内设有第一导电类型发射区。本实用新型的双极晶体管器件采用绝缘侧壁是一种全自对准的技术,不需要光刻,因此能够将多晶硅的窗口的宽度减小到4um,甚至能到2um;这样就能实现更精细化的图形。引入场截止层,...
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