一种带有场截止层的全自对准的绝缘栅双极晶体管器件的制作方法技术资料下载

技术编号:7024401

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本实用新型的涉及电力电子的半导体器件,具体为一种带有场截止层的全自对准的绝缘栅双极晶体管器件,包括第一导电类型衬底,第一导电类型衬底的第一主面内设有第二导电类型基区,第二导电类型基区内设有第二导电类型深扩散区,所述第二导电类型深扩散区呈“凹”形,第二导电类型基区内设有第一导电类型发射区。本实用新型的双极晶体管器件采用绝缘侧壁是一种全自对准的技术,不需要光刻,因此能够将多晶硅的窗口的宽度减小到4um,甚至能到2um;这样就能实现更精细化的图形。引入场截止层,...
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