技术编号:7024776
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提出了一种监测漏电的结构,用于监测不同层之间的漏电情况,包括同层监测结构、相邻监测层以及形成于所述同层监测结构和所述相邻监测层之间的介质层;在同层监测结构之下或者之上形成有相邻监测层,同层监测结构与相邻监测层之间形成有介质层起隔离作用,在进行监测时,可以通过测量同层监测结构与相邻监测层之间是否存在漏电流或电压便能够监测出不同层之间是否存在漏电的情况。专利说明监测漏电的结构[0001]本实用新型涉及半导体制造领域,尤其涉及一种监测漏电的结构。背景技...
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