半导体器件及半导体器件结构的制作方法技术资料下载

技术编号:7025794

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本实用新型涉及具有局部化电荷平衡结构的半导体器件。一个技术问题是解决与现有技术中存在的一个或更多个问题相关的问题。在一个实施例中,半导体器件具有邻接低掺杂n型区域形成的超结结构。低掺杂p型区域在低掺杂n型区域上面邻接超结结构形成,并被配置为提高Eas特性。与低掺杂p型区域相邻地形成体区,并且,与体区相邻地形成用于控制体区内的沟道区域的控制电极结构。根据本实用新型的方面的实施例,可以提供提高了优化电荷平衡和/或选择电荷平衡窗口的Eas性能的电荷平衡半导体器件...
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