技术编号:7025984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子电容器的领域。背景技术电子电容器可以工作在一温度范围上。可能期望形成一种电容器,其在工作温度范围上展示出基本恒定的电容。发明内容可以通过形成二氧化硅电容器介电层,之后将磷放置到介电层中,以获得在1.7X 102Clatmos/cm3和2.3X 102°atmos/cm3之间的磷密度,由此形成零温度系数(ZTC)电容器。磷可以是离子注入的,扩散源提供的,或通过其他方法提供的。ZTC电容器的温度系数可以在-1每摄氏度百万分之一(ppm/°C)和l...
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