技术编号:7026402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型硅片清洗片盒,包括支撑板,支撑板的数量为两块,两块支撑板相向设置;支撑杆,支撑杆的数量为多根,多根支撑杆通过螺钉设置在两块支撑板之间,支撑杆的两端分别与两块支撑板连接;加强杆,加强杆的数量为多根,多根加强杆设置在两块支撑板之间,加强杆的两端分别与两块支撑板连接。本实用新型硅片清洗片盒首先解决了硅片容易漂浮及易产生污迹的问题;其次可以降低片盒的变形状况,提高片盒使用寿命;第三作为改善品,在两端固定的不锈钢板上有不同距离的通孔,这样就可以通过调节支撑...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。