技术编号:7029171
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种图形化的蓝宝石衬底,属于半导体领域。所述蓝宝石衬底包括衬底层,所述蓝宝石衬底还包括反射层,所述衬底层的图形化表面上形成有多个凸起,所述反射层沉积在所述多个凸起的顶部,所述多个凸起和所述反射层在所述衬底层上构成周期性图形阵列,所述周期性图形阵列的图形单元为锥状结构。本实用新型通过在图形化的蓝宝石衬底的衬底层上设置反射层,使得生长其上的外延片的氮化镓层与蓝宝石衬底的折射率相差较大,因此,光在蓝宝石衬底的界面上不易被透射更易被反射,改善了蓝宝...
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