技术编号：7030935
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及具有线性C-V特性的低应力双杠杆结构MEMS变容器，下极板、驱动电极和锚点设置于介质衬底上，上极板的两端部通过扭转梁支撑固定于锚点上，上极板的中间部与下极板相对，上极板的端部与驱动电极相对；驱动电极上施加线性增加电压，上极板的端部向下运动，上极板的中间部向上运动，上极板与下极板之间的电容值减小，驱动电极上停止施加线性增加电压，上极板通过扭转梁的扭转弹力回复至初始水平状态。上极板外端部向下运动带动上极板向上运动，上下极板间间距增大，使电容值C随...
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