蒸镀方法、蒸镀装置和有机el显示装置的制作方法技术资料下载

技术编号:7031556

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本发明涉及用于在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法和蒸镀装置。并且,本发明涉及具备通过蒸镀形成的发光层的有机EL(Electro Luminescence场致发光)显示装置。背景技术近年来,各种各样的商品和领域中使用平板显示器,要求平板显示器的更进一步的大型化、高画质化、低耗电化。在这种状况下,具备利用有机材料的电场发光(Electro Luminescence)的有机EL元件的有机EL显示装置,作为全固体型且在低电压可驱动、高速响应性、自发光性等方面优异...
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