技术编号:7033682
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种耐高温电子器件元件,尤其涉及一种石油测井井下钻具电路中电子器件所使用的元件,该电子器件元件的结构包括衬底层、绝缘埋层、导体层和电极,其中,绝缘埋层设置在衬底层的上表面,导体层设置在绝缘埋层的上表面,电极设置在导体层的上表面,所述衬底层为Si层,所述绝缘埋层为AlN层,所述导体层为SiC层,所述电极为钨极。采用SiCOI(绝缘衬底上的碳化硅)制作的耐高温电子器件元件,可以有效避免漏电流的增加、阻断闩锁效应的发生并且阈值电压在高温下更稳定,适...
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