IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标签的制作方法技术资料下载

技术编号:7033762

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IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别标方法本发明属于自动识别技术和信息存储传输,特别是一种应用于现代电子学、 声学、微电子工艺技术和雷达信号处理技术等的IDT/ ZnO/ Al/金刚石多层膜结构的声表面波射频识别(SAW-RFID)标签。背景技术近年来,移动通信的飞速发展,在多种多样、各具特色的射频识别系统中,利用声表面波(SAW)技术实现的射频识别(RFID)与传统的利用集成电路(IC)实现的RFID相比具有许多独特的优势。声表面...
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