技术编号:7033777
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种旋转装置,特别是指一种用于预对准机的旋转装置。背景技术随着科技的发展,工业生产规模越来越大,人力成本会增加,且效率要求也会越来越高。渐渐的在工厂中大量引入自动化工具,如机器人等工具组装产品。在晶圆组装过程中,首先要识别晶圆的安装缺口,机械手先将晶圆放在预对准机的撑托上,再通过卡爪夹持晶圆并上升,使晶圆高出撑托所在平面,旋转晶圆使其缺口朝向一预定位置。但在将晶圆从卡爪放到撑托上时,若卡爪与撑托处于同一位置,两者会发生干涉而阻碍两者在竖直方向上的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。