技术编号：7034248
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种设置在半导体立式氧化炉内的盒式急停按钮装置，包括急停按钮、固定板、保护装置；所述急停按钮设置在固定板上面；所述保护装置为盒式结构，罩在急停按钮外；所述保护装置的一端与固定板通过铰链连接，另一端与固定板通过紧固件连接。本实用新型提出的装置，具有安装方便、容易制作、有效阻挡颗粒污染和耐立式氧化炉内高温的特点。专利说明盒式急停按钮装置[0001]本实用新型属于半导体器件领域，具体涉及一种半导体立式氧化炉内设置的控制按钮装置。背景技术[0002]...
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