技术编号:7036643
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。具备具有在通过恒速输送装置(3)以规定速度向一方向输送工件(5)的同时使一根激光束(70)向与工件(5)的输送方向交叉的方向从照射开始侧(S)向照射结束侧(E)对工件(5)的薄膜层(6)扫描的光束头(22、23)的光束头单元(20);向光束头(22、23)照射激光束(70)的激光振荡器(21);和相对地控制由光束头(22、23)照射的激光束(70)的扫描速度和工件(5)的输送速度而控制以规定速度输送的工件上形成的加工线(11)的控制装置(60);控制装置(...
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