用于锚定定缝隙填充金属的方法和材料的制作方法技术资料下载

技术编号:7036887

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本发明的一方面包括一种电子器件的制造方法。根据一种实施方式,所述方法包括提供具有与导电性表面区域相邻的电介质氧化物表面区域的衬底,以化学方式结合锚定化合物与所述电介质氧化物表面区域从而形成锚定层,使用导电性表面区域使金属开始生长,以及使金属生长从而使所述锚定层还与金属结合。所述锚定化合物具有至少一个能够与氧化物表面形成化学键的官能团并且具有至少一个能够与金属形成化学键的官能团。本发明的另一方面为一种电子器件。本发明的第三方面为含有所述锚定化合物的溶液。专利...
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