技术编号:7037359
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。揭露了用于测量基板的温度的装置与方法。所述装置包含指示温度的辐射的源;关于指示温度的辐射的检测器;以及解相关器,所述解相关器设置于在所述指示温度的辐射的源与所述关于指示温度的辐射的检测器之间的光路中。所述解相关器可以是宽带放大器和/或搅模器。宽带放大器可以是宽带激光器、布拉格光栅、光纤布拉格光栅、拉曼放大器、布里渊放大器或这些装置的组合。所述解相关器被选择以发出辐射,所述辐射至少部分地通过正被监测的基板传输。若所述解相关器是增益驱动装置,则所述源与所述解相...
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