技术编号:7037496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供用于监视对被处理基板实施规定处理的基板处理装置的故障的基板处理装置的故障监视系统,所述基板处理装置的故障监视系统具备警报收集单元,其收集由所述基板处理装置发出了的警报;和解析单元,其解析通过所述警报收集单元收集到的警报,并且在将一个轴设为确定警报发出部位的警报ID、将另一个轴设为规定的监视期间的2维空间上作为表示各监视期间的警报发出频率的图像而显示。专利说明 [0001]本发明涉及。 背景技术 [0002]以往,在半导体器件、平板显示器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。