技术编号:7038327
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供利用板波、并且IDT电极的膜厚的变化所引起的特性的变化非常小的弹性波装置。弹性波装置(1)具备压电基板(6);和在该压电基板(6)的压电振动部贯通压电基板(6)而设的IDT电极(7)。专利说明弹性波装置 [0001] 本发明涉及利用具有传播的弹性波的波长以下的厚度的压电基板的弹性波装置。 背景技术 [0002] 以往提出各种利用了兰姆波等的板波的弹性波装置。即,通过在小的厚度的压电 基板上设置IDT电极,能利用板波来得到各种弹性波特性。例如,...
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