技术编号：7038571
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种供保护性气体真空高温处理设备的处理室用并且由石墨或CFC制成的基座，所述基座具有隧道状设计，并且所述基座的两个端部处均能通过盖件来闭合。本发明应能够提供可自由模块化扩展的基座，该基座具有节约材料的设计，并且尤其能够提供均匀的热膨胀。这通过以下事实来实现所述基座(1)由沿着连续隧道依次对准的多个模块(2)构成，各模块(2)由管状部分(3)和固定至该管状部分的底板(4)构成，每对模块(2)之间的端面(5)以形状锁合的方式相互连接。专利说明基座[0...
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