技术编号：7038787
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。载台装置包括载台(WST、MST)和平面马达，所述载台能够在载台底座上沿XY平面移动，所述平面马达具有设置在各个载台(WST、MST)上的第一和第二磁铁单元(51A、51B)、以及包括二维排列在载台底座上的多个线圈的线圈单元(60)，并且所述平面马达通过由于与磁铁单元(51A、51B)之间的电磁相互作用而产生的驱动力来驱动载台(WST、MST)。按照以下方式来确定磁铁的布局在载台(WST、MST)在载台底座上在Y轴方向上相互接近至预定距离以内或者接触的状态...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。