用于涂敷模塑料的层叠封装工艺的制作方法技术资料下载

技术编号:7039211

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本发明涉及半导体领域,更具体地,涉及层叠封装工艺。背景技术在传统的层叠封装(POP)工艺中,接合有第一器件管芯的顶部封装件进一步与底部封装件接合。该底部封装件也可以与第二器件管芯接合。由于经常使用焊球接合顶部封装件和底部封装件,因此第二器件管芯可以处在底部封装件的同侧上。在将顶部封装件与底部封装件接合之前,模塑料被涂敷在底部封装件上,其中,模塑料覆盖了在第二器件管芯和焊球。由于焊球被埋在模塑料中,所以要进行激光消融或者穿孔,从而在模塑料中形成孔以便将焊球暴...
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