技术编号:7040334
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用了压电薄膜的压电薄膜元件,更详细地说涉及在硅基板上 具有碱性铌氧化物系钙钛矿构造的压电薄膜的压电薄膜元件。 背景技术压电体根据各种目的加工成各种压电元件,尤其是作为对压电元件施加电 压而使其产生变形并动作的驱动器,或相反地根据从压电元件的变形发生的电 压检测物理量的传感器等的功能性电子部件广泛使用。作为用于驱动器或传感 器的用途的压电体,一直以来广泛使用具有优良的压电特性的铅系材料的电介质,尤其是被称为PZT的用一般式Pb (Zrl -xTi...
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