技术编号:7040363
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。0001〗本发明涉及制造面发射激光器的方法、制造面发射激光器阵列的方法及包括由该方法制造的面发射激光器阵列的光学设备。背景技术当要形成表面起伏结构时,在表面起伏结构与电流限制 结构之间在面内(in-plane)方向上的对准是重要的。之后,使用第一抗蚀剂图案300的外区形成台面结构。 [0034将所形成的台面结构从其侧面氧化从而形成电流限制结构。0035如上所述,可以通过使用同一掩模的对准图案化来高精 度地形成表面起伏结构和台面结构。结果,还可以高精度地形成...
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