技术编号:7041113
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种铁电存储器的铁电薄膜电容,包括基底层1,上电极层2、上电极缓冲层3、铁电薄膜层4、下电极缓冲层5、下电极层6、粘结层7和阻挡层8。其中多取代基的硅杂环己二烯掺杂到铅锆钛薄膜层中,形成铁电薄膜层4。专利说明—种铁电存储器[0001]本发明涉及用于铁电存储器的铁电薄膜电容,属于铁电薄膜。背景技术[0002]基于半导体的非易失性存储器在数据存储和作为转盘存储器的替代物的方面是有用的。已发现基于闪存EEPROM单元的存储器越来越多地用在计算机和消费...
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