电容器结构的制作方法技术资料下载

技术编号:7041225

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本发明提供了电容器结构。该电容器结构包括在水平延伸方向上延伸的基板。第一栅极绝缘膜在基板上,第一栅极图案在第一栅极绝缘膜上。第一指形电极在第一栅极图案上,第二指形电极在第一栅极图案上并与第一电极交替地设置以在水平方向上与第一电极间隔开。第一电极连接到第一栅极图案,第二电极和第一栅极图案彼此绝缘。专利说明电容器结构[0001]本发明构思的实施例涉及电容器结构。背景技术[0002]电容器存储电荷并供应半导体器件的操作所需要的电荷。当前的半导体电容器构造包括MI...
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