技术编号:7042039
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了用于处理晶片状物件的表面的装置。一种用于衬底的液体处理的装置包括衬底架和围绕所述衬底架的液体收集器。所述液体收集器包括用于收集处理衬底所使用的液体的槽。所述槽与排放管道流体连通,且所述液体收集器进一步包括自所述槽中的排放口延伸到设置得比所述槽低的所述排放管道的入口的凹面。所述槽中的所述排放口具有与所述排放管道的入口的横截面积的至少两倍一样大的横截面积。专利说明用于处理晶片状物件的表面的装置 [0001] 本发明总体上涉及用于处理晶片状物件...
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