技术编号:7042048
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,步骤如下(1)腐蚀、清洗待制备的衬底表面,清洗完成后将衬底表面充分干燥;(2)将步骤(1)制备的清洁衬底浸泡在具有强氧化性的溶液中对硅片表面进行湿法化学氧化,然后将衬底表面充分干燥;(3)采用旋涂、喷涂的方式将0.5~20%wt.的磷盐水溶液沉积在衬底表面,然后烘干;(4)采用丝网印刷方式将磷墨或者硅墨沉积在所述步骤(3)中旋涂有磷源的衬底表面上的电极区域,然后烘干;(5)扩散炉升温,向扩散石英管内导入大氮;当温度达到780-890℃后,将步骤(4)...
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